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光氧催化是目前研究較多的一項高級氧化技術(shù)。所謂光催化反應，就是在光的作用下進(jìn)行的化學(xué)反應。光化學(xué)反應需要分子吸收特定波長(cháng)的電磁輻射，受激產(chǎn)生分子激發(fā)態(tài)，然后會(huì )發(fā)生化學(xué)反應生成新的物質(zhì)，或者變成引發(fā)熱反應的中間化學(xué)產(chǎn)物。
低溫等離子體技術(shù)應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術(shù)應用來(lái)說(shuō)是兩個(gè)非常重要的因素。生物過(guò)濾和燃燒技術(shù)能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限；電子束照射技術(shù)僅有一非常窄的氣體流速范圍。而低溫等離子體技術(shù)對氣體的流速和濃度都有一個(gè)很寬的應用范圍，其應用廣泛不言而喻。